反射電子顕微鏡法とミクロ4端子プローブによる表面・電気伝導その場計測 (第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京)

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反射電子顕微鏡法とミクロ4端子プローブによる表面・電気伝導その場計測(第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京)

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Material Type: 記事
Title: 反射電子顕微鏡法とミクロ4端子プローブによる表面・電気伝導その場計測
Author/Editor: 籏野慶佑
矢澤博之
箕田弘喜
Series Title: 第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京
Author Heading: 籏野慶佑
矢澤博之
箕田弘喜
Alternative Title: In-situ surface conductivity measurement by REM-M4PP method
Periodical title: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
No. or year of volume/issue: 51(3) 2008.3
Volume: 51
Issue: 3
Pages: 149～151
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2008-03
ISSN (Periodical Title): 1882-2398
ISSN-L (Periodical Title): 1882-2398
Publication (Periodical Title): 東京 : 日本真空協会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN15
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-474
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 9471401
http://id.ndl.go.jp/bib/9471401
Bibliographic Record Category (NDL): 632