Volume number47(9) 2008.9
スパッタリングターゲ...

スパッタリングターゲットの製造技術 (特集 電子材料の製造・評価技術)

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スパッタリングターゲットの製造技術

(特集 電子材料の製造・評価技術)

Call No. (NDL)
Z16-225
Bibliographic ID of National Diet Library
9635405
Material type
記事
Author
福世 秀秋ほか
Publisher
東京 : 工業調査会
Publication date
2008-09
Material Format
Paper
Journal name
電子材料 47(9) 2008.9
Publication Page
p.18~24
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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
福世 秀秋
矢作 政隆
鈴木 了 他
Periodical title
電子材料
No. or year of volume/issue
47(9) 2008.9
Volume
47
Issue
9
Pages
18~24