電子描画装置およびマスクアライナ : YU-VBLで世界トップレベルの電子デバイスを創出

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Material Type: 文書・図像類
Title: 電子描画装置およびマスクアライナ : YU-VBLで世界トップレベルの電子デバイスを創出
Title Transcription: デンシビョウガソウチオヨビマスクアライナ : YU-VBL デセカイトップレベルノデンシデバイスオソウシュツ
Author/Editor: 山本, 節夫
小柳, 剛
松浦, 満
諸橋, 信一
Author Heading: 山本, 節夫
小柳, 剛
松浦, 満
諸橋, 信一
Publication, Distribution, etc.: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Periodical title: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
No. or year of volume/issue: 7
Volume: 7
Pages: 59-59
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 山口大学 : 山口大学学術機関リポジトリYUNOCA