超高真空蒸着装置 : 洗浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

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Material Type: その他
Title: 超高真空蒸着装置 : 洗浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
Title Transcription: チョウコウシンクウジョウチャクソウチセンジョウシンクウカニオケルハクマクシンザイリョウデバイスノサクセイ
Author/Editor: 中山, 則昭
諸橋, 信一
Author Heading: 中山, 則昭
諸橋, 信一
Publication, Distribution, etc.: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Publication Date: 2004
Publication Date (W3CDTF): 2004
Periodical title: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
No. or year of volume/issue: 8
Volume: 8
Pages: 56-56
Target Audience: 一般
Note (General): 出版タイプ： NA
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 山口大学 : 山口大学学術機関リポジトリYUNOCA