超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

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Material Type: 文書・図像類
Title: 超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
Title Transcription: チョウコウシンクウジョウチャクソウチ : セイジョウシンクウカニオケルハクマクシンザイリョウデバイスノサクセイ
Author/Editor: 中山, 則昭
諸橋, 信一
原田, 直幸
Author Heading: 中山, 則昭
諸橋, 信一
原田, 直幸
Publication, Distribution, etc.: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Periodical title: 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
No. or year of volume/issue: 7
Volume: 7
Pages: 56-56
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 山口大学 : 山口大学学術機関リポジトリYUNOCA