アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御

Name of awarding university/degree: 東京農工大学,博士（工学）,Doctor of Philosophy (Engineering)

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Material Type: 博士論文
Title: アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御
Title Transcription: アフターグローホウデケイセイシタ a-SiNx:Hマクノナイブオウリョクハッセイトセイギョ
Author/Editor: 永吉, 浩
Author Heading: 永吉, 浩ナガヨシ, ヒロシ
Degree grantor/type: 東京農工大学
Date Granted: 1993-03-25
Dissertation Number: 博工甲第50号
Degree Type: 博士（工学）
Doctor of Philosophy (Engineering)
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: 本文 fulltext （fulltext）
https://tuat.repo.nii.ac.jp/record/919/files/199303NagayoshiHiroshi_F.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京農工大学 : 東京農工大学学術機関リポジトリ