ハライド気相成長法による酸化ガリウムのホモエピタキシャル成長に関する研究

Name of awarding university/degree: 東京農工大学,博士（工学）,Doctor of Philosophy (Engineering)

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Material Type: 博士論文
Title: ハライド気相成長法による酸化ガリウムのホモエピタキシャル成長に関する研究
Title Transcription: ハライドキソウセイチョウホウニヨルサンカガリウムノホモエピタキシャルセイチョウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 野村, 一城
Author Heading: 野村, 一城ノムラ, カズシロ
Alternative Title: A study on homoepitaxial growth of β-Ga₂O₃ by halide vapor phase epitaxy
Degree grantor/type: 東京農工大学
Date Granted: 2016-03-25
Dissertation Number: 博工甲第944号
Degree Type: 博士（工学）
Doctor of Philosophy (Engineering)
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京農工大学 : 東京農工大学学術機関リポジトリ