シリコン微小すべり案内機構の接触・摩擦特性評価

• Material Type: 文書・図像類
• Title: シリコン微小すべり案内機構の接触・摩擦特性評価
• Author/Editor: モロヌキ, ノブユキ; ウチヤマ, ケンジ; カクタ, アキラ; フルカワ, ユウジ; Moronuki, Nobuyuki; Uchiyama, Kenji; Kakuta, Akira; Furukawa, Yuji; 諸貫, 信行; 内山, 賢治; 角田, 陽; 古川, 勇二
• Author Heading: モロヌキ, ノブユキ; ウチヤマ, ケンジ; カクタ, アキラ; フルカワ, ユウジ; Moronuki, Nobuyuki; Uchiyama, Kenji; Kakuta, Akira; Furukawa, Yuji; 諸貫, 信行; 内山, 賢治; 角田, 陽; 古川, 勇二
• Publication Date: 2001-03
• Publication Date (W3CDTF): 2001-03
• Alternative Title: Tribological properties of Micro-Sliding Mechanism Made of Silicon
• Pages: 1-78
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 科学研究費補助金研究成果報告書, 課題番号11650135, 1999年度～2000年度, 基盤研究(C)
• Access Restrictions: 限定公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 東京都立大学 : みやこ鳥

• Summary, etc.: シリコンの異方性エッチングを用いると微細な規則形状を容易に得ることができる.シリコンはぜい性材料ではあるものの機械的特性に優れるため,微小しゅう動機構等への応用が考えられる.しかし,寸法の微小化に伴ってすべり接触部における表面吸着力が大きくなり,ひいては摩擦力の影響が無視できなくなるため,その低減・...