プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー

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Material Type: 図書
Title: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
Author/Editor: 大竹, 尚登
OHTAKE, NAOTO
Author Heading: 大竹, 尚登
OHTAKE, NAOTO
Publication, Distribution, etc.: シーエムシー出版
Publication Date: 2007
Publication Date (W3CDTF): 2007
Periodical title: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
Pages: 239-246
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50061521
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ