電界共役流体(ECF)ジェットを用いたマイクロアクチュエータとセンサ

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Tokyo Tech Research Repository
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Material Type: 文書・図像類
Title: 電界共役流体(ECF)ジェットを用いたマイクロアクチュエータとセンサ
Author/Editor: 横田, 眞一
YOKOTA, SHINICHI
竹村, 研治郎
Takemura, Kenjiro
Author Heading: 横田, 眞一
YOKOTA, SHINICHI
竹村, 研治郎
Takemura, Kenjiro
Publication, Distribution, etc.: 日本フルードパワーシステム学会
Publication Date: 2010-03
Publication Date (W3CDTF): 2010-03
Periodical title: 日本フルードパワーシステム学会機能性流体研究委員会報告書
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50131220
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ