セラミックス表面から直接放出される活性酸素種の真空プロセス応用

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Tokyo Tech Research Repository
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Material Type: 文書・図像類
Title: セラミックス表面から直接放出される活性酸素種の真空プロセス応用
Author/Editor: 林, 克郎
HAYASHI, KATSURO
Author Heading: 林, 克郎
HAYASHI, KATSURO
Publication Date: 2011-12
Publication Date (W3CDTF): 2011-12
Alternative Title: Applications of Reactive Oxygen Species Generated from Ceramic Surface to Vacuum Processes
Periodical title: 村田学術振興財団年報
No. or year of volume/issue: No. 25
Volume: No. 25
Pages: 532-537
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50160803
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ