次世代半導体としての酸化物半導体の信頼性と可能性

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Material Type: 図書
Title: 次世代半導体としての酸化物半導体の信頼性と可能性
Author/Editor: 大友, 明
Ohtomo, Akira
Author Heading: 大友, 明
Ohtomo, Akira
Publication, Distribution, etc.: 株式会社エヌ・ティー・エス
Publication Date: 2013-06
Publication Date (W3CDTF): 2013-06
Periodical title: ポストシリコン半導体―ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果―
No. or year of volume/issue: 第2編第5章第1節
Volume: 第2編
Issue: 第5章第1節
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50208232
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ