窒化物圧電体膜の微構造評価

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Tokyo Tech Research Repository
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Material Type: 文書・図像類
Title: 窒化物圧電体膜の微構造評価
Author/Editor: 安岡, 慎之介
Yasuoka, Shinnosuke
清水, 荘雄
Shimizu, Takao
舟窪, 浩
FUNAKUBO, HIROSHI
Author Heading: 安岡, 慎之介
Yasuoka, Shinnosuke
清水, 荘雄
Shimizu, Takao
舟窪, 浩
FUNAKUBO, HIROSHI
Publication Date: 2020-09
Publication Date (W3CDTF): 2020-09
Periodical title: 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業微細構造解析プラットフォーム利用報告書実施機関国立大学法人東北大学
No. or year of volume/issue: 令和元年度
Volume: 令和元年度
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50549398
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ