MEMS技術を用いたECFジェット用の電極対

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Tokyo Tech Research Repository
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Material Type: 文書・図像類
Title: MEMS技術を用いたECFジェット用の電極対
Author/Editor: 金, 俊完
KIM, Joon-wan
横田, 眞一
YOKOTA, SHINICHI
Author Heading: 金, 俊完
KIM, Joon-wan
横田, 眞一
YOKOTA, SHINICHI
Publication, Distribution, etc.: 一般社団法人日本フルードパワーシステム学会
Publication Date: 2022-04
Publication Date (W3CDTF): 2022-04
Alternative Title: MEMS-fabricated electrode pairs for ECF jets
Periodical title: 機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会研究成果報告書
Pages: 105-108
Text Language Code: jpn
Subject Heading: MEMS, Micropup, ECF, Functional fluid, Fluid power
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50617139
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ