Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
• Author/Editor: Ahmed Sheikh Rashel Al
• Author Heading: Ahmed Sheikh Rashel Al
• Publication, Distribution, etc.: 東海大学
• Alternative Title: 不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究; フキハツセイ ハンドウタイ メモリ エノ オウヨウ ノ タメノ シリコン タンチッカマク ノ デンカ ホカク ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東海大学
• Date Granted: 2017-09-21
• Dissertation Number: 甲第1035号
• Degree Type: 博士(工学)
• Text Language Code: eng
• Subject Heading: nonvolatile memory; silicon carbonitride; charge centroid; charge retention; charge trap center; 不揮発性メモリ; シリコン炭窒化膜; 電荷重心; 電荷保持特性; 電荷捕獲中心
• Target Audience: 一般
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 東海大学 : 東海大学機関リポジトリ

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