Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- Ahmed Sheikh Rashel Al
- Author Heading
- Publication, Distribution, etc.
- Alternative Title
- 不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究フキハツセイ ハンドウタイ メモリ エノ オウヨウ ノ タメノ シリコン タンチッカマク ノ デンカ ホカク ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 東海大学
- Date Granted
- 2017-09-21
- Dissertation Number
- 甲第1035号
- Degree Type
- 博士(工学)