圧電インパクト駆動を用いた超精密XYステージと微少液滴塗布機構の開発

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Summary, etc.：: 本論文では、圧電インパクト駆動を用いた2つの精密位置決め機構とその応用について論じている。近年、情報端末機器などに搭載されている様々なデバイス、アクチュエータやセンサ、レーザ、レンズ、電子部品、機械部品等は微小化が進み、その位置決めや組立は非常に困難になっている。たとえば、接着作業では、接着される部...

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Material Type: 博士論文
Title: 圧電インパクト駆動を用いた超精密XYステージと微少液滴塗布機構の開発
Author/Editor: 入江, 優花
Author Heading: 入江, 優花イリエ, ユウカ
Alternative Title: Development of Impact Piezo-Driven Precise Miniature XY Stage and Micro Dispenser
Degree grantor/type: 電気通信大学
Date Granted: 2015-09-30
Dissertation Number: 甲第829号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 2015
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 電気通信大学 : 電気通信大学学術機関リポジトリ