Studies of the Thermal Oxidation of Silicon in the Presence of Chlorine

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Material Type: 博士論文
Title: Studies of the Thermal Oxidation of Silicon in the Presence of Chlorine
Author/Editor: 服部, 毅
Author Heading: 服部, 毅ハットリ, タケシ
Publication Date: 1980-04-15
Publication Date (W3CDTF): 1980-04-15
Alternative Title: 塩素を添加した雰囲気におけるシリコンの熱酸化に関する研究
Degree grantor/type: 上智大学
Date Granted: 1980-04-15
Dissertation Number: 32621乙第15号
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: AbstractSDRS0015.pdf （abstract）
https://digital-archives.sophia.ac.jp/pub/repository/00000028731/pdf_oaipmh/AbstractSDRS0015.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 上智大学 : 上智大学学術情報リポジトリ