SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究
Author/Editor: 朴, 善宇
Author Heading: 朴, 善宇パク, センウ
Publication Date: 1988-03-31
Publication Date (W3CDTF): 1988-03-31
Degree grantor/type: 上智大学
Date Granted: 1988-03-31
Dissertation Number: 32621甲第82号
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: AbstractSDKS0082.pdf （abstract）
https://digital-archives.sophia.ac.jp/pub/repository/00000028760/pdf_oaipmh/AbstractSDKS0082.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 上智大学 : 上智大学学術情報リポジトリ