超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究
Author/Editor: 小林, 明子
Author Heading: 小林, 明子コバヤシ, アキコ
Publication Date: 2000-03-14
Publication Date (W3CDTF): 2000-03-14
Degree grantor/type: 上智大学
Date Granted: 2000-03-14
Dissertation Number: 32621乙第168号
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: AbstractSDRS0168.pdf （abstract）
https://digital-archives.sophia.ac.jp/pub/repository/00000028937/pdf_oaipmh/AbstractSDRS0168.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 上智大学 : 上智大学学術情報リポジトリ