集束荷電粒子を用いた超高真空一貫微細加工プロセスに関する研究

Notes on use

Related materials as well as pre- and post-revision versions

000000304743

Search by Bookstore

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

Shizuoka University REpository
Digital
You can check the holdings of institutions and databases with which 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ） is linked at the site of 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）.
Shizuoka University REpository

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: 集束荷電粒子を用いた超高真空一貫微細加工プロセスに関する研究
Author/Editor: 杉本, 喜正
Author Heading: 杉本, 喜正
Publication, Distribution, etc.: 静岡大学
Publication Date: 1996-12-20
Publication Date (W3CDTF): 1996-12-20
Degree grantor/type: 静岡大学
Date Granted: 1996-12-20
Dissertation Number: 乙第70号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
NDC: 549
Target Audience: 一般
Note (General): doctoral
電子科学研究科
乙第70号
application/pdf
DOI: 10.11501/3119555
Format (IMT): application/pdf
Source: O0070.pdf （fulltext）
https://shizuoka.repo.nii.ac.jp/record/5015/files/O0070.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Related Material: 000000304743
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ