超精密部品の高速形状検査のための三次元光学顕微計測基盤技術の開発

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Material Type: 規格・テクニカルリポート類
Title: 超精密部品の高速形状検査のための三次元光学顕微計測基盤技術の開発
Author/Editor: 臼杵, 深
Author Heading: 臼杵, 深
Publication, Distribution, etc.: 静岡大学
Publication Date: 2016-06-16
Publication Date (W3CDTF): 2016
Alternative Title: 3D Optical Microscopy for High-speed Measurement of Nano-micro-sized Components
Subject Heading: 光学顕微鏡
画像処理
三次元計測
ライトフィールド
低コヒーレンス干渉
OCT
Focus Variation
形状モデリング
NDC: 549
Target Audience: 一般
Note (General): 出版タイプ： VoR
2013年度～2015年度科学研究費助成事業(基盤研究(C))研究成果報告書
Related Material: 25420050
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ