超精密加工に不可欠な化学機械研磨のダイナミクス解明に向けた電荷移動反応の直接計測

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Material Type: 文書・図像類
Title: 超精密加工に不可欠な化学機械研磨のダイナミクス解明に向けた電荷移動反応の直接計測
Author/Editor: 須田, 聖一
Author Heading: 須田, 聖一
Publication Date: 2023-06-26
Publication Date (W3CDTF): 2023-06-26
Alternative Title: Direct measurement of charge transfer reactions for elucidating chemical mechanical polish dynamics in ultra-fine planarization processes
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 化学機械研磨
電荷移動反応
水和層
電位変化
ファインバブル
Target Audience: 一般
Note (General): 2019～2022年度科学研究費助成事業(基盤研究(C)(一般))研究成果報告書
application/pdf
Format (IMT): application/pdf
Source: 19K05094seika
https://shizuoka.repo.nii.ac.jp/record/2000348/files/19K05094seika.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
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Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ