超熱原子状酸素ビ-ムと固体表面との相互作用およびその低温酸化プロセスへの応用

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Material Type: 博士論文
Title: 超熱原子状酸素ビ-ムと固体表面との相互作用およびその低温酸化プロセスへの応用
Title Transcription: チョウネツ　ゲンシジョウ　ビーム　ト　コタイ　ヒョウメン　トノ　ソウゴ　サヨウ　オヨビ　ソノ　テイオン　サンカ　プロセス　ノ　オウヨウ
Author/Editor: 木之下, 博
Author Heading: 木之下, 博キノシタ, ヒロシ
https://nrid.nii.ac.jp/nrid/1000040177895
Alternative Title: The hyperthermal atomic oxygen beam interaction with solid surfaces and its application to low temperature oxidation processes
Degree grantor/type: OU
Date Granted: 2000-03-24
Dissertation Number: 甲第07418号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
DOI: 10.11501/3169346
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華