電流ストレスにより生じるシリコン熱酸化膜劣化現象と劣化機構に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 電流ストレスにより生じるシリコン熱酸化膜劣化現象と劣化機構に関する研究
Author/Editor: 榊原, 清彦
Author Heading: 榊原, 清彦サカキバラ, キヨヒコ
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 1999-09-22
Dissertation Number: 乙第07845号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: und
Target Audience: 一般
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華