数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究
Author/Editor: 柴原, 正文
Author Heading: 柴原, 正文シバハラ, マサフミ
https://nrid.nii.ac.jp/nrid/1000080470219
Degree grantor/type: OU
Date Granted: 2007-03-23
Dissertation Number: 乙第09298号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: und
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: 21441_Abstract.pdf （abstract）
https://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/48420/21441_Abstract.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華