レジスト薄膜中の酸生成過程におけるプロトンダイナミクスおよび酸発生剤と熱化電子の反応に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: レジスト薄膜中の酸生成過程におけるプロトンダイナミクスおよび酸発生剤と熱化電子の反応に関する研究
Author/Editor: 平澤, 健一郎
Author Heading: 平澤, 健一郎ヒラサワ, ケンイチロウ
Alternative Title: Study on Proton Dynamics and Reaction of Acid Generators with Thermalized Electrons in Acid Generation Processes in Thin Resist Films
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 2010-03-23
Dissertation Number: 甲第14205号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: und
Alias of Author: 夏田, 健一郎
ナツダ, ケンイチロウ
Target Audience: 一般
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華