超高誘電率ゲート絶縁膜の設計と界面ダイポール形成による実効仕事関数制御

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OUKA (Osaka University Knowledge Archive)
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Material Type: 博士論文
Title: 超高誘電率ゲート絶縁膜の設計と界面ダイポール形成による実効仕事関数制御
Author/Editor: 有村, 拓晃
Author Heading: 有村, 拓晃アリムラ, ヒロアキ
Alternative Title: Design of Higher-k Gate Dielectrics and Effective Work Function Control by Interface Dipole Formation
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 2011-03-25
Dissertation Number: 甲第14878号
Degree Type: 博士（工学）
Text Language Code: und
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: 24539_Abstract.pdf （abstract）
https://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/58393/24539_Abstract.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華