PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価

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Summary, etc.：: 極端紫外・軟Ｘ線領域の光学素子評価ビームライン（PF BL-11D)で軟Ｘ線ラミナーレプリカ回折格子　(Niコート)の回折効率評価実験を行った。回折格子の刻線密度は1200本/mmである。入射角が設計値の87.07°となるように回折格子を固定し，検出器を回転駆動して0～4次の回折光を検出した。波長1...

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Material Type: 文書・図像類
Title: PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価
Author/Editor: 羽多野, 忠
小池, 雅人
浮田, 龍一
笹井, 浩行
小池雅人
Author Heading: 羽多野, 忠
小池, 雅人
浮田, 龍一
笹井, 浩行
小池雅人
Publication Date: 2016-09-13
Publication Date (W3CDTF): 2016-09-13
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 第77回応用物理学会秋季学術講演会
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ