小型イオンマイクロビーム装置の引出条件の改良によるビーム径縮小

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Summary, etc.：: 実験室に設置可能な数百keV級の小型イオンマイクロビーム装置を開発しており、これまでに120keVでビーム径5.8μmを得た。本装置では、加速と集束を同時に行う加速レンズ系を採用しており、その集束メカニズムのために、より低いエネルギーのビームをレンズ系に入射することで縮小率を向上できる。そこで、更に...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 小型イオンマイクロビーム装置の引出条件の改良によるビーム径縮小
Author/Editor: 大久保, 猛
石井, 保行
大久保猛
石井保行
Author Heading: 大久保, 猛
石井, 保行
大久保猛
石井保行
Publication Date: 2016-09-09
Publication Date (W3CDTF): 2016-09-09
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 日本原子力学会2016年秋の大会
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ