EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションによる粒子発生

Notes on use

Detailed bibliographic record

Summary, etc.：: レーザー生成プラズマを用いた次世代半導体リソグラフィ用EUV光源において、Sn液滴ターゲットを短パルスのプリパルスレーザー照射によってSn微粒子が生成する過程を扱う流体シミュレーションコードの開発について報告した。メッシュの動的再配置によって、気相と液相の物質が共存する状態のダイナミクスを扱えるよう...

Search by Bookstore

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

QST-Repository
Paper
You can check the holdings of institutions and databases with which Institutional Repositories DataBase(IRDB)(Institutional Repository) is linked at the site of Institutional Repositories DataBase(IRDB)(Institutional Repository).
QST-Repository

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 文書・図像類
Title: EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションによる粒子発生
Author/Editor: 佐々木, 明
佐々木明
砂原淳
西原功修
西川亘
佐々木明
Author Heading: 佐々木, 明
佐々木明
砂原淳
西原功修
西川亘
佐々木明
Publication Date: 2017-03-15
Publication Date (W3CDTF): 2017-03-15
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 応用物理学会春季学術講演会
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ