Study on Electron-beam-induced Reactions of Methyl α-Allyloxymethyl Acrylic Polymer

• Material Type: 文書・図像類
• Title: Study on Electron-beam-induced Reactions of Methyl α-Allyloxymethyl Acrylic Polymer
• Author/Editor: 保坂, 勇志; 近藤, 孝文; 大山, 智子; 内田, 朋哉; 田口, 光正; 吉田, 陽一; 鷲尾, 方一; 保坂 勇志; 大山 智子; 田口 光正
• Author Heading: 保坂, 勇志; 近藤, 孝文; 大山, 智子; 内田, 朋哉; 田口, 光正; 吉田, 陽一; 鷲尾, 方一; 保坂 勇志; 大山 智子; 田口 光正
• Publication Date: 2018-06-26
• Publication Date (W3CDTF): 2018-06-26
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Note (General): The 35th International Conference of Photopolymer Science and Technology
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: αアリルオキシメチルアクリル酸系(AMA)重合体は、主鎖にテトラヒドロフラン(THF)環を含み、側鎖にアクリル系のカルボニルエステル(-COOR)を含むラジカル硬化性樹脂である。本研究ではAMA重合体のうちメチルAMA重合体(PMeAMA)の電子線レジストへの応用に関する調査を行った。PMeAMAが...