Preliminary formation of a negative ion microbeam in a compact ion microbeam system

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Summary, etc.：: 工場の生産現場や大学の実験室等への普及を目指して開発している小型イオンマイクロビーム装置において、高分解能化のためサブミクロンビームの形成を可能にするには、イオン温度が低く色収差を小さく抑えることができる負イオンビームの利用が有利である。本装置構成を大幅に変更せず負イオンビーム集束の研究を行うには、...

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Material Type: 文書・図像類
Title: Preliminary formation of a negative ion microbeam in a compact ion microbeam system
Author/Editor: 大久保, 猛
石井, 保行
大久保猛
石井保行
Author Heading: 大久保, 猛
石井, 保行
大久保猛
石井保行
Publication Date: 2018-08-14
Publication Date (W3CDTF): 2018-08-14
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
Note (General): CAARI2018
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ