広帯域多層膜回折格子を搭載したテンダーX線分光器の結像特性

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Summary, etc.：: デバイス機能の本質を理解するために、近年、テンダーX線（概ね1～5 keV領域）でのオペランド分光計測が進展してきた。回折格子は反射膜（Au）の吸収により著しく回折効率が低下するため、当該領域での利用は一般に困難とされる。反射膜を多層膜化することで高効率化できるが、一定入射角での分光範囲は狭くなる。...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 広帯域多層膜回折格子を搭載したテンダーX線分光器の結像特性
Author/Editor: 今園, 孝志
今園孝志
Author Heading: 今園, 孝志
今園孝志
Publication Date: 2017-11-29
Publication Date (W3CDTF): 2017-11-29
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 第14回X線結像光学シンポジウム
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ