Ｘ線多層膜レプリカ回折格子の耐熱性研究

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Summary, etc.：: 我々は、レプリカ回折格子の反射膜を金属膜から多層膜に代替した多層膜回折格子の実用化研究を推進している。多層膜構造を非周期にすることで、近年注目されているテンダーＸ線に対する回折効率を高効率化できるとともに広帯域化できる。多層膜回折格子の研究開発を進めていく中で、それの耐熱性に関する問題が顕在化した。...

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Material Type: 文書・図像類
Title: Ｘ線多層膜レプリカ回折格子の耐熱性研究
Author/Editor: 今園, 孝志
西原弘晃
浮田龍一
笹井浩行
長野哲也
今園孝志
Author Heading: 今園, 孝志
西原弘晃
浮田龍一
笹井浩行
長野哲也
今園孝志
Publication Date: 2018-03-18
Publication Date (W3CDTF): 2018-03-18
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 第65回応用物理学会春季学術講演会
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ