Formation of nano-porous surface structures by fast C60 beam bombardments

• Material Type: 文書・図像類
• Title: Formation of nano-porous surface structures by fast C60 beam bombardments
• Author/Editor: 土田, 秀次 (京都大学); 新田, 紀子 (高知工科大学); 中本, 尚樹 (高知工科大学); 冨田, 成夫 (筑波大学); 笹, 公和 (筑波大学); 平田, 浩一 (産総研); 柴田, 裕実 (大阪大学); 齋藤, 勇一; 鳴海, 一雅; 千葉, 敦也; 山田, 圭介; 平野, 貴美; 星野, 靖 (神奈川大学); 齋藤 勇一; 鳴海 一雅; 千葉 敦也; 山田 圭介; 平野 貴美
• Author Heading: 土田, 秀次 (京都大学); 新田, 紀子 (高知工科大学); 中本, 尚樹 (高知工科大学); 冨田, 成夫 (筑波大学); 笹, 公和 (筑波大学); 平田, 浩一 (産総研); 柴田, 裕実 (大阪大学); 齋藤, 勇一; 鳴海, 一雅; 千葉, 敦也; 山田, 圭介; 平野, 貴美; 星野, 靖 (神奈川大学); 齋藤 勇一; 鳴海 一雅; 千葉 敦也; 山田 圭介; 平野 貴美
• Publication Date: 2018-07-03
• Publication Date (W3CDTF): 2018-07-03
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Note (General): 10th International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter & 28th International Conference on Atomic Collisions in Solids
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: イオン照射によって半導体表面に誘起されるポーラス構造は、ナノ加工のボトムアップ的なアプローチとして注目されてきた。本研究では、特にサブMeV級のC60イオンをGaSbウェハーに照射して表面に形成されるファイバー状構造に注目し、その温度依存性と照射量依存性を調べることで形成メカニズムを議論する。まず、...