EUV Laser Ablation and Damage Examination

• Material Type: 文書・図像類
• Title: EUV Laser Ablation and Damage Examination
• Author/Editor: 石野, 雅彦; タンフン, ヂン; 北村, 俊幸; 長谷川, 登; 錦野, 将元; 坂上, 和之; 鷲尾, 方一; 東口, 武史; 市丸, 智; 岡本, 一将; 古澤, 孝弘; 末元, 徹; 木下, 博雄; Pikuz, Tatiana; Faenov, Anatoly; 石野 雅彦; タンフン ヂン; 北村 俊幸; 長谷川 登; 錦野 将元
• Author Heading: 石野, 雅彦; タンフン, ヂン; 北村, 俊幸; 長谷川, 登; 錦野, 将元; 坂上, 和之; 鷲尾, 方一; 東口, 武史; 市丸, 智; 岡本, 一将; 古澤, 孝弘; 末元, 徹; 木下, 博雄; Pikuz, Tatiana; Faenov, Anatoly; 石野 雅彦; タンフン ヂン; 北村 俊幸; 長谷川 登; 錦野 将元
• Publication Date: 2018-09-06
• Publication Date (W3CDTF): 2018-09-06
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Note (General): SACLA Users' Meeting 2018
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: In this paper we report on results of extreme ultraviolet (EUV) free-electron laser ablation experiments. In the ablation experiments, we had evaluate...