ボロンK発光(183eV)分光計測のための酸化物膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発

• Material Type: 文書・図像類
• Title: ボロンK発光(183eV)分光計測のための酸化物膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発
• Author/Editor: 小池, 雅人; 寺内, 正己; 羽多野, 忠; 高橋, 秀之; 村野, 孝訓; 高倉, 優; 長野, 哲也; 笹井, 浩行; 小池 雅人
• Author Heading: 小池, 雅人; 寺内, 正己; 羽多野, 忠; 高橋, 秀之; 村野, 孝訓; 高倉, 優; 長野, 哲也; 笹井, 浩行; 小池 雅人
• Publication Date: 2019-02-15
• Publication Date (W3CDTF): 2019-02-15
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 応用物理学会関西支部平成30年度第3回講演会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 表面物質がNiである軟X線回折格子表面上にTiO2（CeO2） を堆積しB-K 発光で回折効率が極大となる膜厚と入射角を探索し、膜厚22.0 nm（30.2 nm）及び入射角85.262°、（84.496°）を得た。放射光を用いて測定した結果、従来のNi回折格子を入射角87.070°で用いる場合に対...