200～900 eV域対応高回折効率・広受光角 軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 200～900 eV域対応高回折効率・広受光角 軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)
• Author/Editor: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; ピロジコフ, アレキサンダー; 寺内, 正己; 林, 信和; 笹井, 浩行; Koike, Masato; Pirozhkov, Alexander
• Author Heading: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; ピロジコフ, アレキサンダー; 寺内, 正己; 林, 信和; 笹井, 浩行; Koike, Masato; Pirozhkov, Alexander
• Publication Date: 2019-09-18
• Publication Date (W3CDTF): 2019-09-18
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: ラミナー型回折格子への軟X線多層膜の付加及び入射角を小さくすることにより、Fe-L発光(705.0 eV, 1.76 nm)を中心とした広いエネルギー領域での回折効率の向上を図る方法について前回述べた。しかし、入射角の減少とともに角分散も小さくなり、スペクトル分解能が低下する問題があった。そこで今回...