3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

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Summary, etc.：: 電子顕微鏡試料の軟Ｘ線発光の回折格子分光器によるスペクトル計測は局所領域分析に有効である。最近、自動車用鋼板の軽量化等を目的として Fe-L 発光の状態分析に関心が高く、現状性能に対して２倍程度の波長分解能向上の要求が出ている。検出器画素あたりの光子数を維持するため、我々は回折格子入射角の低下による...

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Material Type: その他
Title: 3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発
Author/Editor: 羽多野, 忠
小池, 雅人
寺内, 正己
ピロジコフ, アレキサンダー
林, 信和
笹井, 浩行
長野, 哲也
Pirozhkov, Alexander
Author Heading: 羽多野, 忠
小池, 雅人
寺内, 正己
ピロジコフ, アレキサンダー
林, 信和
笹井, 浩行
長野, 哲也
Pirozhkov, Alexander
Publication Date: 2020-01-10
Publication Date (W3CDTF): 2020
Target Audience: 一般
Note (General): 第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構学術機関リポジトリ