C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定III

• Material Type: 文書・図像類
• Title: C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定III
• Author/Editor: 鳴海, 一雅; 山田, 圭介; 千葉, 敦也; 平野, 貴美; 百合, 庸介; 齋藤, 勇一; Narumi, Kazumasa; Yamada, Keisuke; Chiba, Atsuya; Hirano, Yoshimi; Yuri, Yosuke; Saito, Yuuichi
• Author Heading: 鳴海, 一雅; 山田, 圭介; 千葉, 敦也; 平野, 貴美; 百合, 庸介; 齋藤, 勇一; Narumi, Kazumasa; Yamada, Keisuke; Chiba, Atsuya; Hirano, Yoshimi; Yuri, Yosuke; Saito, Yuuichi
• Publication Date: 2020-09-09
• Publication Date (W3CDTF): 2020-09-09
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 日本物理学会2020年秋季大会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 本研究では、C_60イオンビームを応用する上で重要なスパッタリングに着目し、スパッタリング収量の系統的な測定を目的とする。これまでに0.03～9 MeVのC_60イオン衝撃による金標的のスパッタリング収量を測定し、同じ速度のCイオン衝撃によるスパッタリング収量の測定と比較を行ってきた。今回は同じ速度...