刻線密度3200本/mmの軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と評価

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 刻線密度3200本/mmの軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と評価
• Author/Editor: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Author Heading: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Publication Date: 2021-03-18
• Publication Date (W3CDTF): 2021-03-18
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 2021年第68回応用物理学会春季講演会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 電子顕微鏡搭載用小型軟Ｘ線発光分光計の波長分解能向上、および軟Ｘ線回折格子分光器の高エネルギー化のために 3000 本/mm 以上の高刻線密度軟Ｘ線回折格子の開発が必要とされている。しかしながら、一般的には刻線密度が高くなるほど格子溝形状の製作精度が回折効率に与える影響が大きくなることから、現状では...