Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

• Material Type: 文書・図像類
• Title: Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発
• Author/Editor: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Author Heading: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Publication Date: 2021-09-10
• Publication Date (W3CDTF): 2021-09-10
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 2021年第82回応用物理学会秋季講演会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 軟Ｘ線平面結像型発光分光器においては、金属膜上に多層膜をコートすることにより、従来値より小さい入射角に於いて、取り込み光量と回折効率が同時に増大し、分光分析感度を飛躍的に向上させることができる。一方、低入射角化は分散の低下を招き検出器のピクセルサイズで制限される波長分解能が低下するが、刻線密度を大き...