刻線密度 3200 本/mm 軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作とW/C 多層膜による回折効率増大

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 刻線密度 3200 本/mm 軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作とW/C 多層膜による回折効率増大
• Author/Editor: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Author Heading: 羽多野, 忠; 小池, 雅人; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井, 浩行; 長野, 哲也; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• Publication Date: 2022-01-08
• Publication Date (W3CDTF): 2022-01-08
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 軟Ｘ線平面結像型回折格子分光器においては、多層膜をコートすることに より、従来値より小さい入射角で取込み光量と回折効率を同時に増大さ せ、分光分析感度を飛躍的に向上させるさせることができる 。一方、低入射角化は分散の低下を招き検出器のピクセルサイズで制限される波長分解能が低下するが、刻線密度を大きく...