イオン注入によるβ型酸化ガリウム中の p 型ドーパント探索

• Material Type: 文書・図像類
• Title: イオン注入によるβ型酸化ガリウム中の p 型ドーパント探索
• Author/Editor: 三木一司; 前川, 雅樹; 河裾, 厚男; 飯村隆介; 三木隼之介; 宮本将伸; 嶋津亮; 唐佳藝; 山腰茂伸; 佐々木公平; 倉又朗; Masaki, Maekawa; Atsuo, Kawasuso
• Author Heading: 三木一司; 前川, 雅樹; 河裾, 厚男; 飯村隆介; 三木隼之介; 宮本将伸; 嶋津亮; 唐佳藝; 山腰茂伸; 佐々木公平; 倉又朗; Masaki, Maekawa; Atsuo, Kawasuso
• Publication Date: 2021-12-07
• Publication Date (W3CDTF): 2021-12-07
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): QST 高崎サイエンスフェスタ 2021
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 低炭素化社会実現のため、機器制御用パワーデバイスの性能向上による省エネルギー化が求められている。酸化ガリウムは次々世代材料として期待される材料であるが、デバイス作成に必須となるp型ドーパントが未発見である。我々はZn,、Ba、Srのイオン注入によりp型作成を試みている。本報告ではこのうちBaについて...