β型酸化ガリウム中へのp型ドーパント探索： Ba

• Material Type: 文書・図像類
• Title: β型酸化ガリウム中へのp型ドーパント探索： Ba
• Author/Editor: 三木隼之介; 宮本将伸; 嶋津, 亮; 唐佳藝; 三木一司; 前川, 雅樹; 河裾, 厚男; 飯村隆介; 山腰茂伸; 佐々木公平; Masaki, Maekawa; Atsuo, Kawasuso
• Author Heading: 三木隼之介; 宮本将伸; 嶋津, 亮; 唐佳藝; 三木一司; 前川, 雅樹; 河裾, 厚男; 飯村隆介; 山腰茂伸; 佐々木公平; Masaki, Maekawa; Atsuo, Kawasuso
• Publication Date: 2021-09-13
• Publication Date (W3CDTF): 2021-09-13
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 第82回応用物理学会秋季学術講演会
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 省エネ問題を解決するために、パワーデバイスの性能向上が求められている。その新材料として注目されているβ-Ga2O3はp 型ドーパントが未発見であるため、高耐圧なデバイスの開発が困難な状況にある。そこで我々は、イオン注入法を用いてp型不純物探索を行っている。本研究では、β-Ga2O3のｐ型ドーパントの...