塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

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Material Type: 博士論文
Title: 塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
Title Transcription: エンソガスネツエッチングホウオモチイタ 4Hガタタンカケイソノビサイカコウトソレオカツヨウシタチョウテイソンシツデンリョクセイギョソシエノオウヨウ
Author/Editor: 纐纈, 英典
Author Heading: 纐纈, 英典コウケツ, ヒデノリ
Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
Publication Date: 2012-03-23
Publication Date (W3CDTF): 2012-03-23
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 2012-03-23
Dissertation Number: 甲第1069号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 炭化珪素
熱エッチング
塩素
異方性
パワーデバイス
Target Audience: 一般
DOI: 10.34413/dr.01069
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar