無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析 : 平成19年度実績報告書

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Material Type: 文書・図像類
Title: 無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析 : 平成19年度実績報告書
Title Transcription: ムテンイシリコンカーバイドセイチョウニムケタヒョウメンカイシツトコウブンカイノウヒハカイカイセキ
Author/Editor: 畑山, 智亮
Author Heading: 畑山, 智亮ハタケヤマ, トモアキ
Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
Publication Date: 2008
Publication Date (W3CDTF): 2008
Text Language Code: jpn
Subject Heading: シリコンカーバイド
転位
結晶成長
電子線起電流
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Source: fulltext （other）
https://naist.repo.nii.ac.jp/record/649/files/R006383.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar