非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓

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Material Type: 博士論文
Title: 非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓
Author/Editor: 髙橋, 崇典
Author Heading: 髙橋, 崇典タカハシ, タカノリ
Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
Publication Date: 2023-03-31
Publication Date (W3CDTF): 2023-03-31
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 2023-03-31
Dissertation Number: 甲第1971号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 非晶質酸化物
半導体
三次元集積デバイス
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar