多結晶ダイヤモンドにおける水素プラズマを用いた異方性エッチング機構の解析

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Material Type: 博士論文
Title: 多結晶ダイヤモンドにおける水素プラズマを用いた異方性エッチング機構の解析
Author/Editor: 吉井, 大陸
Author Heading: 吉井, 大陸ヨシイ, ダイチ
Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
Publication Date: 2023-03-31
Publication Date (W3CDTF): 2023-03-31
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 2023-03-31
Dissertation Number: 甲第1974号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多結晶ダイヤモンド
水素プラズマ
異方性エッチング
EBSD
AFM
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar