シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究
Author/Editor: 小林, 清輝
Author Heading: 小林, 清輝
Publication Date: 1997-03-12
Publication Date (W3CDTF): 1997-03-12
Degree Grantor: 名古屋大学
Nagoya University
Date Granted: 1997-03-12
Dissertation Number: 乙第5178号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学博士学位論文学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成9年3月12日
Format (IMT): application/pdf
Source: ot5178.pdf （fulltext）
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/9724/files/ot5178.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 名古屋大学 : 名古屋大学学術機関リポジトリ